ZDM系列真空鍍膜機化學(xué)名叫六甲基二硅胺烷（別名六甲基二硅氮烷）,，真空鍍膜機又稱HMDS基片預(yù)處理系統(tǒng),，喆圖真空鍍膜機對箱體內(nèi)預(yù)處理過程的工作溫度,、工作壓力、處理時間,、處理時保持時間等參數(shù)的控制,，可以在硅片、襯底表面完成 HMDS成底膜的工藝,。降低了光刻膠的用量,，所有工藝都在密閉的環(huán)境中進(jìn)行，沒有HMDS揮發(fā),，提高了安全性,。主要適用于硅片、砷化鎵,、陶瓷,、不銹鋼、鈮酸鋰,、玻璃,、藍(lán)寶石、晶圓等材料

用途概述

ZDM系列真空鍍膜機化學(xué)名叫六甲基二硅胺烷（別名六甲基二硅氮烷）,，真空鍍膜機又稱HMDS基片預(yù)處理系統(tǒng),，喆圖真空鍍膜機對箱體內(nèi)預(yù)處理過程的工作溫度、工作壓力,、處理時間,、處理時保持時間等參數(shù)的控制,，可以在硅片、襯底表面完成 HMDS成底膜的工藝,。降低了光刻膠的用量,，所有工藝都在密閉的環(huán)境中進(jìn)行，沒有HMDS揮發(fā),，提高了安全性,。主要適用于硅片、砷化鎵,、陶瓷,、不銹鋼、鈮酸鋰,、玻璃、藍(lán)寶石,、晶圓等材料,，為基片在涂膠前改善表面活性，增加光刻膠與基底的粘附力的設(shè)備,，也可用于晶片其它工藝的清洗,，尤其在芯片研發(fā)和生產(chǎn)領(lǐng)域應(yīng)用更加普及。

產(chǎn)品特點

ZDM系列真空鍍膜機

v 采用PLC工控自動化系統(tǒng),，人機界面采用觸摸屏,，可靠性高，操作智能方便,；

v PLC控制系統(tǒng)具有自動控溫,、任意定時、超溫報警等,彩色觸摸屏顯示,控溫準(zhǔn)確可靠,；

v 智能化觸摸屏控制系統(tǒng),，可根據(jù)不同制程條件改變程序、溫度,、真空度及每一程序時間,；

v 采用鋼化玻璃觀察窗，監(jiān)測方便,，一體成型的硅橡膠門封,，確保箱內(nèi)密封性好；

v 外殼和加熱管均采用不銹鋼材質(zhì),，內(nèi)膽不銹鋼,，無易燃易爆裝置，無發(fā)塵材料,；

v 以蒸汽的形式涂布到晶片表面,，液態(tài)涂布均勻,，可一次處理4盒以上的晶片，節(jié)省藥液,。

v 去水烘烤和增粘（疏水）處理一機完成無需轉(zhuǎn)移,，有效規(guī)避HMDS泄露的風(fēng)險；

v HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計,，使真空箱密封性好,，確保HMDS氣體不外漏；

v 多余的HMDS蒸汽（尾氣）由真空泵抽出,，排放到專用廢氣收集管道,，確保安全以及環(huán)保。

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性

將HMDS涂到晶片表面后,，經(jīng)真空鍍膜機加溫后可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物,，

它可將硅片表面由親水變?yōu)槭杷鹬詈献饔?，可更好與光刻膠結(jié)合,，保證涂膠工藝不影

響光刻效果和顯影。

HMDS本身是表面改性,，不會涂在圓片表面,，HMDS上面涂膠不影響HMDS的處理效果。

HMDS處理后需要冷卻后涂膠,，建議4小時內(nèi)完成涂膠,。

HMDS真空鍍膜機預(yù)處理程序

HMDS(六甲基二硅胺)是黃光區(qū)最毒的東西，真空鍍膜機預(yù)處理程序為：打開真空泵抽真空,，待腔內(nèi)真空度達(dá)到某一高真空度后,，開始充入氮氣，充到一定低真空度后,，再次進(jìn)行抽真空,、充入氮氣的過程，到達(dá)設(shè)定的充入氮氣次數(shù)后,，開始保持一段時間,，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分,。然后再次開始抽真空,，充入通過氮氣的HMDS氣體，在到達(dá)設(shè)定時間后,，停止充入HMDS藥液,，進(jìn)入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng),。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時間后,，再次開始抽真空,。

充入氮氣，完成整個作業(yè)過程,。

技術(shù)參數(shù)：